技術和產品

變形光束微影系統

Vistec 變形光束系統是在生產量、準確性及自動化技術上最進階的電子束直寫系統;這就是目前Vistec 擁有領導市場地位的原因。50KeV系統的特殊設計提供了<32nm技術節點的高解析度圖案,這個技術能夠運用在快速原型模型製作、設計評價以及小規模的生產。除直寫應用之外,Vistec 變形光束系統也可以廣泛運用在光罩的製作。

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Teaserimage SB3050

Vistec SB3050 series

Vistec SB3050 series
Teaserimage SB250

Vistec SB250 series

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