Vistec SB250 series

微创(Vistec) SB250电子束曝光系列是既可以用于硅片直写(最大硅片直径为200毫米)和掩模制造(最大掩模尺寸为7英寸)的高性价比通用系统。模块式系统架构的设计使其成为易于升级到更高性能的设备。它的机动性和全自动化工作模式(包括对工作基片的传输)使它得到了工业界和应用研究部门的青睐。

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